检测
激发
光子（hv）
电子（e）
离子（I）
X射线光谱
荧光光谱
其他光谱
电子微探针
（EPMA或XMA）
离子引发X射线光谱（IIR）
光电子能谱
（ESCA或XPS，UPS）
俄歇电子能谱
（AES）
低能衍射（LEED）
高能衍射（RHEED）
能量损失谱（ELS）
扫描俄歇显微镜
（SAM）
离子中和谱
（INS）
�
电子探针表面质谱
（EPSMS）
二次离子质谱
（SIMS）
离子散射谱
（ISS）
